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特種氣體采用獨立氣源，多用點采用 VMB 或 VMP 分路供應， VMB 或 VMP 采用支路氣動閥，氮氣吹掃，真空輔助排空等。由于 BSGS 氣源總量大，多采用獨立的氣體房，獨立的抽風系統。根據客戶對于生產的要求不同，氣體設備的配置分全自動、半自動、手動形式
用于半導體與LCD微電子太陽能行業特殊氣體輸送系統，多用于有毒/可燃/腐蝕性和稀有氣體。 閥門分流盤多用點時，氣體還需經過 VMB 或 VMP 分路供應。用戶根據工藝要求對分流數和分流壓力流量進行設定。氣體在分流箱上進行調節后達到工藝設備對氣體的精確要求后再分流到各用氣點。
用于半導體與LCD微電子太陽能行業特殊氣體輸送系統。常溫下無色透明液體?？諝庵凶匀迹查g就能著 火。與水反應激烈，即使在冷水中也能產生爆炸性分解反應，并生成甲烷接觸皮膚能引起組織破壞和燒 傷。在空氣中自燃時發出對人體有害的氧化鋁煙霧，這種煙霧能刺激和腐蝕眼、皮膚和呼吸道粘膜，人吸 入后氣管和肺受損傷，嚴重時能引起肺水腫。
氣瓶架適用于無危險性氣體，包括惰性氣體和氧化性氣 體。 主體全部采用烤漆不銹鋼材質，附帶金屬鋼瓶固定支架、鏈條。 主體閥門管件主要采用SUS 316材質不銹鋼，抗壓、耐腐蝕性、超純度保證。 主體閥門管件全部來自國際一線品牌。 手動排空。 手動切換鋼瓶供氣模式。 盤面100%經過He檢漏。
用于半導體與LCD微電子太陽能行業特殊氣體輸送系統，多用于有毒/可燃/腐蝕性和稀有氣體。 大宗特氣供應系統（BSGS）采用全自動 PLC 控制器、彩色觸摸屏、氣體面板采用氣動閥門和壓力傳感器、可實現自動切換、自動氮氣吹掃、自動真空輔助放空、多重安全防護措施、泄漏偵測、遠 程緊急切斷、專用氮氣吹掃起源等等。
用于半導體與LCD微電子太陽能行業特殊氣體輸送系統， 多用于有毒/可燃/腐蝕性和稀有氣體。 氣柜的設計主要是為了安全存儲和操作高純劇毒、可燃、 自燃、腐蝕性、氧化性、易反應的鋼瓶氣體。 氣柜配置了2.6毫米的鋼板柜體并在表面涂有抗腐蝕涂料。 同時可視窗口采用鋼絲網安全玻璃窗組裝而成。同時根據 氣體的危險性質,可配置其它安全部件(過流信號開關/紅外 紫外火焰探測器/高溫探頭/消防水等)
氣柜的設計主要是為了安全存儲和操作高純劇毒、可燃、自燃、腐蝕性、氧化性、易反應的鋼瓶氣體。
用于半導體與LCD微電子太陽能行業特殊氣體輸送系統，多用于有毒/可燃/腐蝕性和稀有氣體。
