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以“為客戶提供穩定可靠智能的工藝系統”為企業愿景,致力于電子、半導體、新能源及醫藥等先進的制造業領域
吸附式處理設備利用吸附劑的范德華力來吸附有害氣體,把無毒無害氣體排放于大氣的設備。可以吸附的有害氣體有BCL3、CL2、AsH3、 NH3等 特點:化學樹脂使用壽命長;維護簡便;采用防腐材料與技術;更換樹脂操作簡便;筒末端裝有顏色指示標簽

加熱水洗式處理設備處理一些易燃易分解、且分解后的產物易溶于水的氣體,如PH3、B2H6、NH3等

燃燒水洗式處理設備處理一些自燃、易燃易爆的氣體,如SiH4、H2、PH3等

加熱水洗式處理設備處理一些易燃易分解、且分解后的產物易溶于水的氣體,如PH3、B2H6、 NH3等 特點:無粉塵積聚問題;維護簡便;采用防腐蝕材料與技術;

加熱水洗式處理設備處理一些易燃易分解、且分解后的產物易溶于水的氣體,如PH3、B2H6、 NH3等。 特點:無粉塵積聚問題;維護簡便;采用防腐蝕材料與技術;

等離子式處理設備是在其他處理方式都不可以的情況下采用的一種處理方式,處理的氣體一般含氟,如NF3、CF4、 SF6等 特點:電極加熱產生的高溫分解對象氣體,分解后再進行冷卻,使排出的氣體達到溫度和排放要求
